衍射光学元件（Diffractive Optical Element，DOE）
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- 产品特性
衍射光学元件（Diffractive Optical Element，DOE）通常采用微纳刻蚀工艺构成二维分布的静态衍射单元，每个衍射单元可以有特定的形貌、折射率等，对激光波前位相分布进行精细调控。激光经过每个衍射单元后发生衍射，并在一定距离（通常为无穷远或透镜焦平面）处产生干涉，形成特定的光强分布。
产品参数
工作波长
193nm-2600nm
材质
熔融石英
尺寸
3mm-25.4mm
分束维度
一维到三维
均匀度
95%
分离角度
0.001°- 60°
衍射效率
64%-95%（根据要求定制）
