2L腔体等离子清洗机
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- 产品特性
等离子清洗机表面活化处理KT-S2DQX
等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子；处于状态的中性原子、分子、原子团（自由基）；离子化的原子、分子；未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面．以达到清洗目的．
等离子清洗机表面活化处理KT-S2DQX
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供电电源 |
AC220V（AC110V可选) |
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工作电流 |
整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) |
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射频电源功率 |
150W |
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射频频率 |
13.56MHz |
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频率偏移量 |
＜0.2MHz |
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特性阻抗 |
50欧姆，手动匹配 |
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耦合方式 |
电容耦合 |
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真空度 |
≤100Pa |
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腔体材质 |
高纯石英 |
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腔体容积 |
2L(内径110MMX深度220MM) |
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观察窗内径 |
Φ65 |
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气体流量 |
10—100ml/min（其他量程可选） |
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过程控制 |
过程手动控制 |
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清洗时间 |
手动开关 |
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开盖方式 |
铰链侧开式法兰 |
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外形尺寸 |
400x380x360mm |
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重量 |
23Kg |
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真空室温度 |
小于65°C |
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冷却方式 |
强制风冷 |
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标配 |
KF16真空管1米，kf16卡箍2个，不锈钢网匣1个，电源线一根，说明书一本。
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