微型高低温真空探针台
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- 产品特性
微型高低温真空探针台：是一款便携式探针台，结构小巧，功能使用，成本较低，可以满足基本实验的要求。特别之处在于显微镜和探针台采用分体结构，使得探针部分能从整个探针台系统中独立出来，可以应用于辐照实验中，该探针台也可放置高低温箱中，用于芯片的三温测试。多探针结构可实现多路测试。配合接地良好的铝制屏蔽盒，增加了抗干,扰,能力，其测试数据更加准确。
微型高低温真空探针台技术参数
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真空腔体 |
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类型 |
高温型室温到400℃ |
高低温型室温到400℃室温到-190℃ |
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腔体材质 |
304不锈钢6061铝合金 可选 |
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腔体内尺寸 |
127mmX57mmX20mm |
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腔体外尺寸 |
150mmX80mmX32mm |
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腔体重量 |
不锈钢材质约1.5KG铝合金材质 约0.5KG |
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腔体上视窗尺寸 |
Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） |
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腔体抽气口 |
KF16法兰（其余接口规格可转接） |
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腔体真空测量口 |
KF16法兰（其余接口规格可转接） |
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腔体进气口 |
6mm快拧 或6mm快插 |
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腔体冷却方式 |
腔体水冷+上盖气冷 |
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腔体水冷接口 |
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腔体正压 |
≤0.05MPa |
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腔体真空度 |
机械泵≤5Pa（5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟） |
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样品台 |
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样品台材质 |
不锈钢银铜合金纯银块 |
银铜合金纯银块 |
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样品台尺寸 |
26x26mm |
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样品台加热方式 |
电阻加热 |
电阻加热液氮制冷 |
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样品台-视窗 距离 |
11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm） |
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样品台测温传感器 |
PT100型热电阻 |
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样品台温度 |
室温到400℃ |
室温到400℃室温到-196℃ |
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样品台测温误差 |
±0.5℃ |
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样品台升温速率 |
高温100℃/min低温7℃/min |
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温控仪 |
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温度显示 |
7寸人机界面 |
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温控类型 |
标准PID温控+自整定 |
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温度分辨率 |
0.1℃ |
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温控精度 |
±0.5℃ |
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温度信号输入类型 |
PT100（可选K S B型热电偶） |
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温控输出 |
直流线性电源加热 |
直流线性电源加热+液氮流速控制器 |
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辅助功能 |
温度数据采集并导出实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口 |
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温控器尺寸 |
32cmX170cmX380cm |
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温控器重量 |
约5.6KG |
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探针 |
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电信号接头 |
配线转接BNC接头BNC三同轴接头SMA接头 香蕉插头 线长1.2米 |
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电学性能 |
绝缘电阻≥4000MΩ介质耐压≤200V电流噪声≤10pA |
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探针数量 |
4探针（可扩展5探针） |
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探针材质 |
镀金钨针（其他材质可选） |
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探针尖 |
10μm |
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手动探针移动平台 |
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X轴移动行程 |
20mm ±10mm（需手动推动滑台） |
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X轴控制精度 |
≥500μm |
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R轴移动行程 |
120° ±60°（需手动旋转探针杆） |
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R轴控制精度 |
≥500μm |
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Z轴移动行程 |
2mm ±1mm |
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Z轴控制精度 |
≤50μm（需手动螺纹调节探针杆） |
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