高校实验室等离子清洗机 样品表面活化处理
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- 产品特性
150W等离子清洗机
KT-S2DQX型等离子清洗机电源属于150W 13.56MHz的射频电源。作为一种精密干法清洗设备，主要应用于半导体、镀膜工艺、PCB制程、PCB制程、元器件封装前、COG前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗，塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。
该清洗机内置高纯石英仓体，容积为2升。采用了新型的外观结构设计和固态电源技术，使其有效容积增大，不同真空
气体环境下容易匹配，且控制频率稳定。真空仓门有观察窗，可直观物体的处理过程，其射频电源与控制都组装在一个机箱内，即减少了空间的占用，更便于操作和放置，同时与大型清洗机相比较，从检测功能与控制功能的设置上均可一个面板上操作，特别适用科学实验
样品清洗 和教学。
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供电电源 |
AC220V（AC110V可选) |
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工作电流 |
整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) |
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射频电源功率 |
150W |
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清洗频率 |
13.56MHz |
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频率偏移量 |
＜0.2MHz |
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特性阻抗 |
50欧姆，手动匹配 |
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耦合方式 |
电容耦合 |
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真空度 |
≤50Pa |
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腔体材质 |
高纯石英 |
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腔体容积 |
2L(内径110MMX深度220MM) |
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观察窗内径 |
Φ65 |
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气体流量 |
10—100ml/min（其他量程可选） |
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过程控制 |
过程手动控制 |
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清洗时间 |
手动开关 |
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开盖方式 |
铰链侧开式法兰 |
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外形尺寸 |
400x380x360mm |
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重量 |
23Kg |
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真空室温度 |
小于65°C |
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冷却方式 |
强制风冷 |