日本UNION EMA-400 桌面面罩对准器
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- 产品特性
EMA-400
桌面面罩对准器
特点
*经济、紧凑和高级性能
* 在视野中查看两个对准标记的融合图像。
* 用于曝光的积分器镜头。
* LED illuminator
APPLICATION
(Micromachine development in R&D center and university)
*Acuator, Pressure Sensor, Acceleration Sensor, Power Device, etc.
* Exposure for Flip Chip/BGA/CSP。
* 光/高速通信组件的曝光。
*经济、紧凑和高级性能
* 在视野中查看两个对准标记的融合图像。
* 用于曝光的积分器镜头。
* LED illuminator
APPLICATION
(Micromachine development in R&D center and university)
*Acuator, Pressure Sensor, Acceleration Sensor, Power Device, etc.
* Exposure for Flip Chip/BGA/CSP。
* 光/高速通信组件的曝光。
| 对齐范围 | |
| 目标分离 | 15 至 75 毫米 |
| 总放大率 | 100X |
| 观察用照明器 | 绿色 LED (λ=540nm) |
| X, Y 载物台移动范围 | ±5 毫米 |
| θ调整 | ±5° |
| 效用 | |
|
主体 和水银灯电源 |
交流 100V 50/60Hz 15A |
| 真空源 | 低于 21.3 Kpa（-80 Kpa 从大气压） |
| 压力源 | 大于 0.2MPa（N² 气体或干燥清洁空气） |
| 曝光单元 | |
| 镜片 | 积分透镜 |
| 水银灯 | 250W超高压蒸气汞灯 |
| 有效曝光面积 | φ100 mm |
| 强度分布 | ±5% 或更少 |
| 照明强度 | 20 毫瓦/平方厘米（405 纳米） |
| 曝光时间控制 | 数字定时器和旋转螺线管 |
| 汞灯照明单元 | 交流 100V |
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