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真空磁控溅射靶材,靶材,石久高研(查看)

真空磁控溅射靶材,靶材,石久高研(查看)

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供货商:北京石久高研金属材料有限公司
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  • 产品特性

金属靶材

      北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供高品质的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。

       溅射靶材使用指南及注意事项

       短路及密封性检查  

       靶材完成安装后需要对整个阴极进行短路检查及密封性检查, 建议通过使用电阻仪摇表的方式对阴极是否存在短路进 行判断。在确定阴极不存在短路后,可以进行检漏检查,将水通入阴极确定是否存在漏水现象。

石久高研专注15年提供高纯金属靶材  高品质、高纯靶材欢迎来电咨询~~~


金属靶材

北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供高品质的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。

溅射靶材使用指南及注意事项

靶材预溅射  

靶材预溅射建议采用纯氩气进行溅射,可以起到清洁靶材表面的作用。靶材进行预溅射时建议慢慢加大溅射功率,陶瓷类靶材的功率加大速率建议为1.5W小时/平方厘米。金属类靶材的预溅射速度可以比陶瓷靶材块,一个合理的功率加大速率为1.5W小时/平方厘米。  

在进行预溅射的同时需要检查靶材起弧状况,预溅射时间一般为10分钟左右。如没有起弧现象,继续提升溅射功率到设定功率。根据经验,金属靶材可承受的溅射功率为25watts/平方厘米,陶瓷靶材为10watts/平方厘米。请同时参用户系统操作手册中关于溅射时真空腔体压力的设定根据经验,一般应确保冷却水出水口的水温应低于35摄氏度,但最重要的是确保冷却水的循环系统能有效工作,通过冷却水的快速循环带走热量,是确保能以较高功率连续溅射的一项重要保障。对于金属靶材一般建议冷却水流量为20LPM水压在5GMP左右;对于陶瓷靶材一般建议水流量在30LPM水压在9GMP左右。

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金属靶材的前景

      北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供高品质的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。


       钨-钛靶材作为光伏电池镀膜材料是最近发展起来的,它作为第三太阳能电池的阻挡层是好的选择。

  由于 W-Ti 系列薄膜具有非常优良的性能,近几年来应用量急剧增加,2008年W-Ti 靶材世界用量已达到400t,随着光伏产业的发展,这种靶材的需求量会越来越大。具行业预测其用量还会有很大的增加。国际太阳能电池市场以{bfb}的速度增长,目前世界有30 多公司参与太阳能市场的进一步开发, 并已有的公司产品投入市场。我国研发的超大尺寸、高密度、高纯W-Ti 靶材,是属于新型的离子溅射镀膜靶材料。可广泛应用于显示屏的阻挡层或调色层,笔记本电脑的装饰层、电池的封装、太阳能(光伏)电池的阻挡层,具有很好市场前景和经济效益。另一方面又可带动我国钨产业的产品升级换,获得更高的附加值。


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