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- 产品特性
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镀膜系统对真空系统的要求取决于腔体，一般的镀膜系统由进样室，传输室，工艺室和出样室组成。
进样室和出样室的真空一般为 1000 – 0.1 mbar，被抽气体是空气所以油封泵系统非常适合工艺的要求。 但是对系统的无油要求也是很常见的，无油真空系统一般由SP630 / WSU2001H组成
进样室最重要的技术指标就是抽空时间（时间就是金钱），所以通常使用带有特殊的齿轮箱抽空设计的罗茨机组。
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